Nový interferometr pro vysoce přesné měření tloušťky křemíkových desek

19.09.2023

Při výrobě polovodičů je nezbytná nejvyšší přesnost. Důležitým procesním krokem je lapování polotovarů, které se tak dostanou na stejnou tloušťku. Za účelem plynulé kontroly tloušťky byly vyvinuty interferometry s bílým světlem řady IMS5420.

Každý z nich se skládá z kompaktního snímače a řídicí jednotky v robustním průmyslovém pouzdře. Aktivní řízení teploty integrované v řídicí jednotce zajišťuje vysokou stabilitu měření.

Interferometr je k dispozici buď jako systém pro měření tloušťky, nebo jako systém pro měření tloušťky ve více vrstvách. Systém pro měření tloušťky s více body může měřit tloušťku až pěti vrstev, např. tloušťku destičky, vzduchové mezery, filmu a povlaků >50 µm. Pro měření tloušťky v náročných podmínkách prostředí je k dispozici řídicí jednotka IMS5420IP67 se stupněm krytí IP67 a krytem z nerezové oceli, stejně jako odpovídající optická vlákna a senzory.

Výhody

  • Měření tloušťky nedopovaných, dopovaných a vysoce dopovaných destiček s nanometrovou přesností
  • Multi-peak: detekce až 5 vrstev o tloušťce 0,05 až 1,05 mm.
  • Vysoké rozlišení v ose z 1 nm
  • Rychlost měření až 6 kHz pro vysokorychlostní měření
  • Rozhraní: Ethernet / EtherCAT / RS422 / PROFINET / EtherNet/IP
  • Jednoduché nastavení parametrů prostřednictvím webového rozhraní

MICRO-EPSILON Czech Republic
Na Libuši 891
39165 Bechyně, Czech Republic
info@micro-epsilon.cz
+420 381 213 011
+420 381 211 060