Umístění čočkového systému v litografických strojích

Bezdotykové indukční snímače (vířivý proud) měří polohu čoček v litografických strojích, aby bylo dosaženo nejvyšší možné přesnosti zobrazování. Snímače eddyNCDT se používají pro sledování pohybu a polohy až do 6 stupňů a poskytují vysokofrekvenční odezvu.

Doporučená technologie senzorů

Snímače na principu vířivých proudů

MICRO-EPSILON Czech Republic
Na Libuši 891
39165 Bechyně, Czech Republic
info@micro-epsilon.cz
+420 381 213 011
+420 381 211 060