Interferometr pro měření absolutní vzdálenosti s přesností v nanometrech

Měření vzdálenosti s maximální přesností
interferoMETER IMS5400-DS
Měření vzdálenosti s maximální přesností
Novinka:

Nový interferometr IMS5400-DS otevírá nové perspektivy v průmyslovém měření vzdáleností. Kontrolér má inteligentní vyhodnocení a umožňuje absolutní měření s přesností v nanometrech s relativně velkou ofsetovou vzdáleností. Ve srovnání s jinými absolutně měřicími optickými systémy nabízí IMS5400-DS bezkonkurenční kombinaci přesnosti, rozsahu měření a ofsetové vzdálenosti.

Podrobnosti
  • Nanometer-precise, absolute distance measurements, suitable for step profiles
  • Multi-peak distance measurement of transparent objects
  • Compact and robust sensors with large offset distance
  • Measuring rate up to 6 kHz for high speed measurements
  • Robust controller with passive cooling
  • Easy configuration via web interface

Měření absolutní vzdálenosti s rozlišením v nanometrech

IMS5400-DS se používá pro vysoce přesné měření vzdálenosti a polohy. Na rozdíl od konvenčních interferometrů umožňuje IMS5400-DS stabilní měření stupňovitých profilů. Díky absolutnímu měření jsou úrovně snímány s vysokou stabilitou a přesností signálu. Při měření na pohybujících se objektech lze spolehlivě zaznamenat výškové rozdíly kroků, schodů a vybrání.

Multi-peak distance measurement

With multi-peak distance measurement on transparent objects, up to 14 distance values are evaluated simultaneously. For example, the distance between glass and a carrier plate can be determined. In addition, the controller can calculate the glass thickness based on the distance values.

Ideální pro průmyslové prostředí

Robustní snímač a řídicí jednotka v kovovém pouzdru činí systém ideálním pro integraci do výrobních linek. Regulátor může být instalován do rozvaděče na lištu a poskytuje velmi stabilní výsledky měření díky aktivní kompenzaci teploty a pasivnímu chlazení. Kompaktní snímače šetří prostor a mohou být také integrovány do stísněných prostor. Vysoce flexibilní kabely z optických vláken jsou k dispozici v délce až 10 metrů a umožňují fyzickou separaci senzoru od ovladače. Uvedení do provozu a parametrizace se provádí pohodlně přes webové rozhraní a nevyžaduje žádnou instalaci softwaru.

Malý světelný bod pro měření nejmenších detailů a struktur

Senzory generují malý světelný bod v celém měřicím rozsahu. Průměr světelného bodu je pouze 10 µm a umožňuje sledovat malé detaily, např. struktury na polovodičích a miniaturizovaných elektronických součástkách.

Měření široké škály povrchů

Interferometrická metoda měření dovoluje měřit s vysokou přesností na četných površích, jako jsou reflexní kovy, plasty či sklo.

Numerous models for demanding measurement tasks

ModelMeasuring range /
Start of measuring range
LinearityNumber of measurable layers
Fields of application
IMS5400-DS192.1 mm / approx. 19 mm±50 nm-

Industrial distance measurements
e.g. in precision manufacturing

IMS5400-DS19/VAC

Precise positioning tasks and distance measurements in clean room environments and vacuum e.g. in display production for mask positioning

IMS5400MP-DS19Distance measurement:
2.1 mm / approx. 19 mm
Thickness measurement:
0.01 ... 1.3 mm (for BK7, n=1.5) / approx. 19 mm
±50 nm for the first distance
±150 nm for each further distance
Up to 13 layersIndustrial distance and thickness measurement e.g. in flat glass production
IMS5400MP-DS19/VACPrecise distance and thickness measurement in clean room environments and vacuum
e.g. in display production for distance and gap measurement

Moderní rozhraní pro integraci do strojů a systémů

Řídicí jednotka má integrovaná rozhraní Ethernet, EtherCAT a RS422. Umožňuje připojení enkodéru, analogových výstupů, synchronizačních vstupů a digitální I / O. To znamená, že interferometr výchovy.

Analog RS422 Ethernet Ethercat Profinet EthernetIP

MICRO-EPSILON Czech Republic
Na Libuši 891
39165 Bechyně, Czech Republic
info@micro-epsilon.cz
+420 381 213 011
+420 381 211 060