Kapacitní snímače pro měření vzdálenosti
capaNCDT 6500 je bezdotykový kapacitní systém měření vzdálenosti, který je vhodný pro použití ve výrobních linkách, při různých procesech k zajištění kvality a pro laboratorní využití.
Podrobnosti
- Měřicí rozsah (mm): 0,05 | 0,2 | 0,5 | 0,8 | 1 | 2 | 3 | 5 | 9 | 10
- Rozlišení: 0.0375nm
- Linearita: 0.01µm
- Šířka pásma: 8.5 kHz (-3dB)
- Přenosová rychlost (digitální výstup): 3.906kHz
- Modulární - až 8 kanálů
- Analogový výstup (napětí/proud)
- Ethernet / EtherCAT rozhraní
- Snadné nastavení a konfigurace přes webové rozhraní
- Externí nebo interní předzesilovač
Maximální rozlišení
Systém capaNCDT 6500 je vytvořen pro měřící úlohy požadující rozlišení v řádech nanometrů. Své kvality prezentuje velmi dobře v polovodičovém průmyslu a laboratorních aplikacích, kde je vyžadováno ta nejvyšší přesnost. Modulátor capaNCDT 6500 je vytvořen i pro více kanálové aplikace - až 8 kapacitních snímačů může být připojeno pomocí předzesilovače do řídící elektroniky.
Flexible multi-channel system
The measuring system consists of a controller with integrated display and one demodulator per sensor, which are combined in a rack. The two available controller racks offer space for up to 2 or up to 8 demodulators. A powerful demodulator is available which can, depending on the application, be operated with an integrated or remote preamplifier. Both versions are compatible with all Micro-Epsilon sensor models.
Jednoduchá ovladatelnost pomocí webového rozhraní
Z důvodu opravdu jednoduchého uživatelského webového rozhraní není potřeba celý proces konfigurace snímače a kontroléru přes jakýkoliv další software. Webové rozhraní může být přístupné přes Ethernet a poskytuje nastavení a konfiguraci filtrů, aritmetických odkazů a ostatních parametrů jako je trigerování, uložiště naměřených hodnot a linearity.
Kapacitní kontrolér DT6530 nabízí maximální rozlišení a stabilitu signálu pro měření vzdálenosti kapacitní metodou. Kontrolér může být až s 8-kanálový a je vhodný nejen pro měření vůči elektricky vodivým předmětům, ale i vůči izolátorům. Stejně jako analogové výstupy je řídicí jednotka rovněž vybavena digitálním rozhraním Ethernet. Kontrolér DT6530 je kompatibilní se všemi kapacitními snímači a kabely řady capaNCDT.
- Dynamické rozlišení 0.002 % FSO (8.5kHz)
- Šířka pásma 8.5kHz (-3 dB) (možnost přepnutí 20Hz; 1kHz; 8.5kHz)
- Analogový výstup 0...10V (zkratová odolnost), 4...20mA; 0...20mA
- Digitální rozhraní Ethernet 24 Bit; EtherCAT
- Speciální možnosti: až 4-násobná délka kabelu
- Data sheet capaNCDT 6500 (pdf, 1.20 MB)
- Operating Instructions capaNCDT 6500 EtherCAT (pdf, 7.94 MB)
- CAD file 3D-model DT6530/C rack, STEP (zip, 5.20 MB)
- sensorTOOL V2.1.1 (exe, 17.85 MB)
- Firmware update DT6530: SW1.5a / FW1.3a / Web-Build 20689 (zip, 1.26 MB)
- Micro-Epsilon EtherCAT ESI file "IF1032" (zip, 38.19 KB)
- MEDAQLib V5.3.1 (zip, 22.86 MB)
The mounting frame is designed for use with capacitive sensors for two-sided thickness measurements and helps to align the measuring points with one another. The frame allows for the sensors to lie exactly on one axis, meaning that the measuring points are arranged congruently. This prevents measurements at an offset and a reliable measurement result is achieved with the highest possible precision. The mounting frames provide space for up to 6 sensors. Two sensors each form a measuring point.
- Multi-track thickness measurement at up to 3 points simultaneously
- High temperature stability for precise measurements at temperatures of up to 100 °C
- Suitable for vacuum
- Extremely compact design
- Easy integration and retrofitting in existing systems
- Compatible with capaNCDT sensors
- Calibratable design for high precision in thickness measurements