Polovodiče

Úlohy měření v polovodičovém průmyslu vyžadují nejvyšší přesnost a opakovatelnost. Micro-Epsilon nabízí správné řešení pro řadu aplikací od přesného polohování stroje až po topografické měření.

Vysoce přesné měření tloušťky křemíkových destiček

Pro přesné měření tloušťky destiček se používají kapacitní snímače. Dva protilehlé snímače detekují tloušťku a také ...

Zobrazit podrobnosti

Zkroucení plátů

Konfokální chromatické systémy snímají povrch plátů a detekují různé oblouky, deformace a vychýlení. Konfokální ...

Zobrazit podrobnosti

Detekce a měření pilových značek

Pro automatickou detekci a měření pilových značek se používají konfokální chromatické systémy od Micro-Epsilon. Funkce rychlé korekce ...

Zobrazit podrobnosti

Detekce a měření nerovností na křemíkových destičkách

Při meření nerovností na křemíkových destičkách se používají konfokální chromatické systémy confocalDT od společnosti ...

Zobrazit podrobnosti

Měření tloušťky plátků / TTV

Konfokální chromatické snímače měří celkovou tloušťku  oboustranně. Na základě profilu tloušťky oplatky lze detekovat vrchní a ...

Zobrazit podrobnosti

Průhledné vrstvy a nalepovací lemování

Pro jednostranné měření tloušťky transparetních vrstev se používají konfokální chromatické snímače confocalDT. Princip ...

Zobrazit podrobnosti

Kontrola prasklin a úlomků

Konfokální chromatické systémy confocalDT se používají pro detekci trhlin a dalších defektů na plátcích. Spolehlivě monitoruji ...

Zobrazit podrobnosti

Umístění čočkového systému v litografických strojích

Bezdotykové indukční snímače (vířivý proud) měří polohu čoček v litografických strojích, aby bylo dosaženo nejvyšší ...

Zobrazit podrobnosti

Umístění plátků

Snímače od společnosti Micro-Epsilon se používají také pro sledování polohy destičky, kde se měří během velmi vysoké rychlosti stolice. ...

Zobrazit podrobnosti

Nanometrické polohování na litografických strojích

Pro osvětlení jednotlivých komponent na plátku se litografická zařízení pohybují plátkem do příslušné polohy. Kapacitní ...

Zobrazit podrobnosti

Umístění masky v litografii

Litografické procesy vyžadují vysoké rozlišení a dlouhodobé měření pohybu strojů, aby bylo dosaženo maximální přesnosti. Vysoké ...

Zobrazit podrobnosti

MICRO-EPSILON Czech Republic
Na Libuši 891
39165 Bechyně, Czech Republic
info@micro-epsilon.cz
+420 381 213 011
+420 381 211 060