Snímač posuvu pro nanopolohování

Piezoelektrické akční členy obvykle generují velmi malé statické a dynamické posuvy. Vysoce přesné snímače polohy zajišťují měření těchto pohybů s požadovanou nanometrickou a subnanometrickou přesností. Tyto přístroje umožňují extrémní rozlišení a opakovatelnost až 0,04 nm. K dosažení této subnanometrické přesnosti slouží bezkontaktní kapacitní snímače Micro-Epsilon řady capaNCDT, která je ztělesněním vysoké přesnosti a požadované stability.