Wafer thickness measurement / TTV

Confocal chromatic sensors measure the thickness deviation (Total Thickness Variation) and the wafer thickness from both sides. Based on the wafer thickness profile, bow and warp of the wafer can be detected. High measuring rates enable thickness detection of the entire wafer in short cycle times.
Doporučená technologie senzorů
Konfokální snímače vzdálenosti, polohy a tloušťky pro transparentní materiály
Kontakt

Přihlaste se k odběru novinek
Přihlaste se k odběru novinek