Vysoce přesný interferometr pro bezkontaktní měření vzdálenosti a tloušťky

interferoMETER IMS5400-DS

Inovativní interferometry od společnosti Micro-Epsilon se využívají v aplikacích s požadavky na vysoce přesné měření vzdálenosti a tloušťky. Snímače umožňují stabilní výsledky měření s rozlišením v sub-nanometrech a mají poměrně velký rozsah měření a ofsetovou vzdálenost. Interferometry jsou k dispozici ve třech typech: IMS5400-DS pro vysoce přesné průmyslové měření vzdálenosti, IMS5400-TH pro přesné měření tloušťky a vakuově kompatibilní IMS5600-DS pro měření vzdálenosti s rozlišením v pikometrech.

Podrobnosti
  • Měření absolutní vzdálenosti s přesností v nanometrech
  • Měření tloušťky nezávislé na vzdálenosti
  • Nejlepší ve své třídě: rozlišení < 30 pikometrů (IMS5600-DS)
  • Vysoká stabilita signálu díky novým vyhodnocovacím algoritmům a aktivní teplotní kompenzaci
  • Velká ofsetová vzdálenost
  • Jednoduchá parametrizace přes webové rozhraní
  • Průmyslově optimalizované snímače s robustním kovovým krytem a pružnými kabely
  • Vakuově kompatibilní senzory a kabely

Interferometr pro průmysl a automatizaci

Interferometr se skládá z robustního snímače, vysoce flexibilního kabelu a kontroléru v hliníkovém pouzdře, které lze připojit na DIN lištu. Kontrolér má aktivní regulaci teploty, pomocí které jsou kompenzovány změny okolní teploty a tím je dosaženo enormní teplotní stability. Díky robustní konstrukci lze interferometr integrovat také do průmyslového prostředí. Délky kabelů jsou až 10 m. K měření úloh v čistých prostorách a ve vakuu jsou k dispozici vakuově kompatibilní snímače, kabely a kabelové průchodky.

Adjustable mounting adapter for sensor alignment

To achieve maximum accuracy, the confocal sensors must be aligned as perpendicular as possible to the measuring object. The adjustable mounting adapter is used to optimally align all confocalDT sensors to the target. You can also align the sensor after the installation in the machine. The industrial adapter allows the displacement in the x- and y-axes as well as tilting the sensor to the measuring object.

Malý světelný bod pro měření nejmenších detailů a struktur

Snímače generují malý světelný bod v celém měřicím rozsahu. Průměr světelného bodu je pouze 10 µm a umožňuje měřit  např. struktury na polovodičích a miniaturizovaných elektronických součástkách. Světelný bod je vizualizován pilotním laserem a usnadňuje seřízení senzoru.

Snadná obsluha přes webové rozhraní

Celá konfigurace je prováděna pomocí snadno použitelného webového rozhraní. Webové rozhraní je vyvoláno přes ethernetové připojení a umožňuje rychlé a snadné nastavení např. průměrování, měření rychlosti a předvolby.

Moderní rozhraní pro integraci do strojů a systémů

Řídicí jednotka má integrovaná rozhraní Ethernet, EtherCAT a RS422. Umožňuje připojení enkodéru, analogových výstupů, synchronizačních vstupů a digitální I / O. To znamená, že interferometr výchovy.

Analog RS422 Ethernet Ethercat Profinet EthernetIP

MICRO-EPSILON Czech Republic
Na Libuši 891
39165 Bechyně, Czech Republic
info@micro-epsilon.cz
+420 381 213 011
+420 381 211 060