Interferometr pro stabilní měření tloušťky bílým světlem s přesností submikrometru

Měření tloušťky nejtenčích skel a fólií s přesností v nanometrech
interferoMETER IMS5400-TH
Měření tloušťky nejtenčích skel a fólií s přesností v nanometrech

Nový interferometr IMS5400-TH odhaluje nové perspektivy v průmyslovém měření tloušťky pomocí bílého světla. Řídicí jednotka má inteligentní vyhodnocení a umožňuje měření tloušťky transparentních objektů s nejvyšší přesností.

Podrobnosti
  • Měření tloušťky s přesností nanometru i při proměnné vzdálenosti a vibrujícím cíli
  • Stabilní měření na velkou vzdálenost i pro antireflexně potažené cíle
  • Snímače optimalizované pro průmysl robustním kovovým krytem a flexibilní kabeláží
  • Rychlost měření až 6 kHZ pro vysokorychlostní měřící úlohy
  • Jednoduché nastavení pomocí webového rozhraní

Stabilní měření tloušťky při proměnné vzdálenosti měření

Interferometr IMS5400-TH se používá pro vysoce přesná měření tloušťky bílým světlem z relativně velké vzdálenosti. Rozhodující výhodou je zde měření nezávislé na vzdálenosti, ve kterém je dosaženo hodnoty přesnosti nanometru i u pohybujících se objektů. Velký rozsah měření tloušťky umožňuje měření tenkých vrstev, plochého skla a fólií. Protože interferometr bílého světla pracuje se SLED v blízké infračervené oblasti, je také možné měřit tloušťku antireflexně potaženého skla.

Rozsahy měření tloušťky <br/> Měření vzduchové mezery (s indexem lomu ~ 1) 50 µm až 2,1 mm <br/> Měření tloušťky skla (s indexem lomu ~ 1,5) 35 µm až 1,4 mm
Rozsahy měření tloušťky
Měření vzduchové mezery (s indexem lomu ~ 1) 50 µm až 2,1 mm
Měření tloušťky skla (s indexem lomu ~ 1,5) 35 µm až 1,4 mm

Multi-layer thickness measurement

With the multi-peak controller variant, several signal peaks can be evaluated simultaneously. This allows multi-layer thickness measurement of transparent objects and laminated glass. The controller outputs the thickness values with the highest stability regardless of their position.

Ideální pro průmyslová prostředí

Robustní senzory a ovladač v kovovém krytu předurčují systém pro integraci do výrobních linek. Regulátor lze instalovat do rozvaděče na DIN lištu a díky aktivní teplotní kompenzaci a pasivnímu chlazení poskytuje velmi stabilní výsledky měření. Tyto kompaktní snímače jsou mimořádně prostorově úsporné a mají vysoce flexibilní kabely z optických vláken. Délky kabelů až 10 m umožňují prostorové oddělení senzoru a ovladače. Senzor lze rychle a snadno vyrovnat díky integrovanému zarovnávacímu laseru. Uvedení do provozu a parametrizace se pohodlně provádí prostřednictvím webového rozhraní a nevyžaduje žádnou instalaci softwaru.

Numerous models for demanding measurement tasks

ModelMeasuring range /
Start of measuring range
LinearityNumber of measurable layers
Fields of application
IMS5400-TH450.035 ... 1.5 mm (for BK7, n=1.5) /
approx. 41.5 mm with an operating range of approx. 7 mm
±100 nm1 layerIndustrial inline thickness measurement
e.g. in flat glass production of single-layer glass
IMS5400-TH45/VACInline thickness measurements in clean room environments and vacuum e.g. in display production for gap measurement in vacuum
IMS5400MP-TH45±100 nmUp to 5 layersIndustrial inline multi-layer measurement
e.g. in flat glass production of multi-layer glasses
IMS5400MP-TH45/VACInline multi-layer measurements in clean room environments e.g. in display production for multi-layer measurement in vacuum
IMS5400-TH700.035 ... 1.5 mm (for BK7, n=1.5) /
approx. 68 mm with an operating range of approx. 4.2 mm
±200 nm1 layerIndustrial inline thickness measurement
e.g. in film production of single-layer films
IMS5400MP-TH70±200 nmUp to 5 layersIndustrial inline multi-layer measurement
e.g. in film production of multi-layer films

Moderní rozhraní pro integraci do strojů a systémů

Řídicí jednotka má integrovaná rozhraní Ethernet, EtherCAT a RS422. Umožňuje připojení enkodéru, analogových výstupů, synchronizačních vstupů a digitální I / O. To znamená, že interferometr výchovy.

Analog RS422 Ethernet Ethercat Profinet EthernetIP

MICRO-EPSILON Czech Republic
Na Libuši 891
39165 Bechyně, Czech Republic
info@micro-epsilon.cz
+420 381 213 011
+420 381 211 060