Interferometr pro měření absolutní vzdálenosti bílým světlem s přesností subnanometru

Měření vzdálenosti s rozlišením subnanometru
interferoMETER IMS5600-DS
Měření vzdálenosti s rozlišením subnanometru
Novinka:

Nový interferometr na bázi bílého světla IMS5600-DS se používá pro měření vzdálenosti s nejvyšší možnou precizností. Ovládací jednotka umožňuje speciální kalibraci s inteligentním vyhodnocením a dovoluje tak absolutní měření s rozlišením subnanometru. Interferometr je tak předurčen k měřícím úlohám, kde je kladen důraz na nejvyšší přesnost, např. při výrobě elektroniky a polovodičů.

Podrobnosti
  • Měření vzdálenosti se subnanometrickou přesností
  • To nejlepší ve své třídě: Rozlišení < 30 picometerů
  • Absolutní měření, vhodné pro stupňovité profily
  • Robustní, ale kompaktní senzor s velkou offsetovou vzdáleností
  • Frekvence až 6 kHz pro měření ve vysoké rychlosti
  • Snadná konfigurace pomocí webového rozhraní
  • Sondy a kabely vhodné i do vakua

Absolutní měření vzdálenosti s velkým měřícím rozsahem a ofsetovou vzdáleností

Interferometr IMS5600-DS se používá pro vysoce přesná měření vzdálenosti a polohy. Systém poskytuje absolutní hodnoty a může tak být použit pro měření stupňovitých profilů. Díky absolutnímu měření jsou výškové rozdíly vzorkovány s vysokou stabilitou signálu. Při měření pohybujících se objektů tak lze spolehlivě změřit výškové rozdíly mezi stupni a identifikovat výstupky či prohlubně. Tento systém nabízí rozlišení v řádu subnanometrů zároveň s velkým offsetem v závislosti na velikosti měřícího rozsahu.

Navržen pro měření s vysokým rozlišením ve vakuu

Interferometry IMS5600-DS mohou být využity k měřícím úlohám v prostředí vakua a čistých místnostech, kde dosahují rozlišení v řádu subnanometru. Pro vakuové aplikace nabízí Micro-Epsilon speciální sondy, kabely, průchodky a další příslušenství. Tyto senzory a kabely jsou určené do bezprašných prostor, od čistých místností (cleanroom) až po UHV.

Stabilní měření vzdálenosti s nejvyšší přesností

Kontrolér může být instalován v kontrolní skříní na DIN lištu a poskytovat stabilní výsledky měření díky aktivní teplotní kompenzaci a pasivnímu chlazení. Tyto kompaktní snímače šetří místo a mají flexibilní optický kabel. Délka kabelu až 10 m umožňuje prostorové oddělení snímače a kontroléru. Sondu lze snadno a rychle vyrovnat díky integrovanému zaměřovacímu laseru. Při uvedení do provozu lze jednotlivé parametry nastavit pohodlně přes webové rozhraní bez nutnosti instalace dalšího softwaru.

Měření široké škály povrchů

Interferometrická metoda měření dovoluje měřit s vysokou přesností na četných površích, jako jsou reflexní kovy, plasty či sklo.

Moderní rozhraní pro integraci do strojů a systémů

Řídicí jednotka má integrovaná rozhraní Ethernet, EtherCAT a RS422. Umožňuje připojení enkodéru, analogových výstupů, synchronizačních vstupů a digitální I / O. To znamená, že interferometr výchovy.

Analog RS422 Ethernet Ethercat Profinet

MICRO-EPSILON Czech Republic
Na Libuši 891
39165 Bechyně, Czech Republic
info@micro-epsilon.cz
+420 381 213 011
+420 381 211 060